SiC CVD 系统市场规模、份额、增长和行业分析，按类型（晶圆直径 200 毫米、晶圆直径 150 毫米等）、应用（外延、晶体生长）以及到 2035 年的区域见解和预测

SiC CVD 系统市场规模

全球SiC CVD系统市场价值2025年为3.4亿美元，2026年增至3.7亿美元，2027年达到约4.0亿美元，预计到2035年将达到近7.5亿美元，在预测期内以8.5%的复合年增长率强劲增长。在市场动态中，超过 62% 的需求是由电力电子和电动汽车相关设备制造驱动的，而近 48% 的新装置采用热壁和暖壁反应器架构来提高热均匀性。此外，大约 35% 的晶圆厂正在转向多晶圆批量加工，超过 29% 的供应商正在对系统进行模块化，以降低总拥有成本和缺陷密度。

在美国SiC CVD系统市场区域，需求由国内功率半导体计划、电动汽车供应链投资以及晶圆厂扩建和内部外延产能建设主导。美国工具买家非常看重多晶圆产量、可重复的掺杂剂分布以及与自动化和计量堆栈的集成；本地服务和快速备件供应是影响采购决策和 OEM 选择的竞争优势。

主要发现

• 市场规模- 2025年价值3.4亿美元，2026年增至3.7亿美元，预计到2035年将达到7.5亿美元，复合年增长率为8.5%。
• 增长动力- 45% 的电动汽车电源模块需求、35% 的可再生能源逆变器采用、30% 的工业电气化、20% 的制造商垂直整合。
• 趋势 -40%采用多晶圆批量，35%采用温壁反应器，晶圆直径迁移增加30%至200mm。
• 关键人物- AIXTRON、东京电子、Epiluvac、Veeco 等。
• 区域洞察- 2025 年市场份额中，亚太地区 50%、北美 25%、欧洲 20%、中东和非洲 5%（简要背景：亚太地区领先产量和制造；北美领先晶圆厂投资和自动化；欧盟专注于效率和研发）。
• 挑战- 30% 的设备交付周期限制、25% 的基材可用性压力、20% 的工艺鉴定周期、15% 的技能短缺。
• 行业影响- 通过外延控制将器件效率提高 35%，通过反应堆升级将缺陷率降低 30%，使用多晶圆系统将产量提升速度加快 25%。
• 最新动态- 领先设备供应商的著名产品发布和供应协议以及碳化硅外延工具领域的战略并购活动。

SiC CVD 系统是关键任务资本设备，用于在 150 毫米和 200 毫米晶圆上沉积外延碳化硅层，用于功率器件制造。设备格局分为针对吞吐量和均匀性进行优化的温壁/热壁多晶圆间歇式反应器，以及用于专业工艺开发的单晶圆反应器。 200 毫米多晶圆批量系统的采用正在加速 — 几家领先的晶圆厂已重复订购支持 150 毫米和 200 毫米晶圆的双配置工具 — 允许客户在不更换整个设备群的情况下转换晶圆尺寸。与原位计量和改进的气体输送系统的集成降低了缺陷率并提高了掺杂剂的可重复性，从而直接减少了器件测试失败并提高了晶圆产量。工具供应商还提供增强的服务合同、远程过程监控和配方保护功能，以缩短产量提升期间的产量时间。设备设计、工艺集成和售后支持的结合决定了供应商在 SiC CVD 市场的竞争力。

SiC CVD 系统市场趋势

SiC CVD 系统市场呈现出多种共同趋势，塑造了需求和供应商路线图。首先，晶圆直径迁移是一个中心趋势：业界正在协调一致地转向 200 毫米外延平台，以提高每个反应器的晶圆产量并降低 SiC 功率器件的每晶圆成本。其次，能够同时处理多个晶圆的多晶圆批量工具越来越受到批量晶圆厂的青睐，因为与单晶圆工具相比，它们的每外延层成本更低。第三，反应堆架构的选择——热壁、温壁和冷壁设计——正在优化以实现均匀性和低缺陷率；温/热壁行星反应器广泛用于高温 SiC 外延，以在多个晶圆上产生均匀的外延层。第四，过程控制和在线计量集成正在兴起：工具购买者坚持通过数据遥测技术严格控制厚度和掺杂剂，为工厂级良率分析提供数据。第五，衬底供应和处理限制会影响设备部署计划——150 毫米和 200 毫米格式的衬底可用性和表面质量指标经常决定新 SiC 工厂的产能提升时间。第六，供应商提供扩大的售后服务、远程诊断和配方传输支持，以加速客户产量的增长。最后，设备供应商和晶圆/OSAT 客户之间的战略合作伙伴关系和重复订单凸显了经过验证的平台性能和长期供应可见性对于大批量 SiC 制造的重要性。 :contentReference[oaicite:5]{index=5}

SiC CVD系统市场动态

机会

200 毫米体积斜坡启用

工具供应商提供强大的 200 毫米多晶圆批量反应器和多配置套件，使晶圆厂能够以更低的每晶圆成本扩大 SiC 器件产量——随着衬底供应和器件需求的融合，这是一个高价值的机会。

驱动程序

电动汽车和电力电子需求激增

随着设备制造商扩大外延产能以满足更高的晶圆需求，碳化硅设备在电动汽车、充电基础设施和工业电力转换中的广泛采用推动了设备采购。

市场限制

"资本密集度和基质限制"

SiC CVD 系统是高资本支出资产，需要精密熔炉、气体处理和先进材料；新反应器和精密气体输送子系统的交付时间可能很长。衬底供应限制（高质量 150 毫米和 200 毫米碳化硅晶圆的可用性）会造成调度摩擦：晶圆厂有时会获取工具，但必须延迟批量运行，以等待衬底的量产。资本密集度还限制了较小的设备制造商和区域进入者，导致早期设备的采用集中在主要代工厂和领先的原始设备制造商中。 SiC 外延的工艺鉴定周期较长且资源密集——需要多次热循环和缺陷分析才能满足汽车和工业可靠性标准；这增加了新工具部署的收入时间，并提高了年轻晶圆厂的进入门槛。

市场挑战

"工艺良率、缺陷控制和鉴定时间表"

实现高电压、高可靠性器件所需的低缺陷外延仍然具有挑战性。螺纹缺陷、基面位错和阶梯聚束必须通过反应堆工程、衬底制备和生长化学调节来控制。汽车和工业客户的资格认证包括长时间老化、高温测试和加速压力测试，这些测试可延长认证时间并增加认证总成本。此外，从研发规模的单晶圆反应器扩展到多晶圆生产需要配方转移、自动化集成和员工培训；这种系统集成挑战是快速产能扩张的重大障碍，特别是在经验丰富的工艺工程师有限的地区。

细分分析

SiC CVD 系统市场主要按类型（晶圆直径 200 毫米、晶圆直径 150 毫米、其他）和应用（外延、晶体生长）划分。类型细分反映了反应器的原生晶圆处理和吞吐量——200毫米批量反应器的目标是功率器件的批量生产，150毫米系统支持传统生产节点和试点工厂，而“其他”则捕获研究和利基衬底尺寸。应用细分区分器件有源层的外延层沉积（掺杂控制、厚度均匀性）和上游用于块状衬底生产的晶体生长设备；两者在 SiC 价值链中发挥着不同的作用，并影响工具选择、资本配置和供应商关系。

按类型

晶圆直径200mm

200 毫米系统越来越多地成为大批量晶圆厂的目标，因为它们降低了每片晶圆的成本并支持未来的设备世代。这些系统通常使用多晶圆行星反应器，并专为整个批次的高热均匀性而设计。

在计划大规模产能扩张的客户中，200 毫米反应堆约占 2025 年新生产系统订单的 45-55%；它们在规划长期 SiC 器件规模扩大的地区和晶圆厂中被优先考虑。

200mm细分市场前三大主导国家

• 美国——大规模SiC投资和国内材料工厂。
• 中国——生产工具的增长和国内设备制造的增长。
• 日本——成熟的设备供应商和先进的工艺研发能力。

晶圆直径150mm

150 毫米系统对于现有晶圆厂和试验线仍然很重要；它们提供经过验证的工艺知识，通常用于建立供应链的资格认证和专业生产运行。

到 2025 年，150 毫米系统约占装机需求的 30-40%，许多晶圆厂将维持混合机群以实现产品多样性并分阶段迁移到更大的晶圆尺寸。

150mm细分市场前三大主导国家

• 日本 — 历史悠久的 150 毫米传统生产设备和工艺专业知识。
• 欧洲——以高可靠性生产和研究为中心的利基工厂。
• 美国——汽车合格零部件的试验线和专业化生产。

其他的

其他包括研究堆和用于专门应用或学术研究的小型工具。这些系统用于研发、原型设计和特种设备开发，其中灵活性比吞吐量更重要。

在专注于研发和早期项目的市场中，其他类型约占工具出货量的 5-15%，但它们对于工艺创新和设备开发至关重要。

其他领域前 3 位主要主导国家

• 德国——研究机构和专业设备的需求。
• 英国——使用柔性反应堆的学术和研发中心。
• 瑞典 — 专业 CVD 技术公司和利基试验线。

按申请

外延

外延应用涵盖器件结构的掺杂和未掺杂 SiC 层的沉积——漂移层、缓冲层和重掺杂接触层。外延工具的性能直接影响器件的导通电阻、阻断电压均匀性和良率，因此是器件工厂的主要购买驱动因素。

到 2025 年，按价值计算，外延系统约占 CVD 工具需求的 75-85%，因为外延层质量是功率半导体制造中器件性能和产量的关键决定因素。

外延应用前3大主导国家

• 美国——主要设备制造商和材料厂追求内部外延控制。
• 中国——扩大外延产能以支持国内器件生产。
• 日本——历史悠久的外延工艺供应商和设备原始设备制造商。

晶体生长

晶体生长应用是指外延上游使用的块状衬底生产设备——商业块状晶体生长系统和相关处理工具。虽然不是 CVD 外延，但晶体生长产能的扩张通过提供衬底供应来影响下游外延市场。

到 2025 年，晶体生长相关设备约占更广泛的 SiC 资本设备支出的 15-25%，影响外延运营商的衬底可用性和资格时间表。

晶体生长应用前3大主导国家

• 美国——投资国内基板和材料设施。
• 日本——在基板制造和材料专业知识方面具有历史悠久的实力。
• 中国——扩大基板生产以支持本地器件工厂。

SiC CVD 系统市场区域展望

2024年全球SiC CVD系统市场规模为3.1亿美元，预计2025年将达到3.4亿美元，到2034年将增至7.1亿美元，2025-2034年预测期间复合年增长率为8.5%。 2025 年的区域市场份额估计反映了亚太地区、北美、欧洲、中东和非洲的晶圆厂、设备采购和材料生态系统的实力，总计 100%。

北美

北美市场（2025 年约占 25%）是由国内对电动汽车供应链的投资、战略设备制造商的内部外延以及本地化材料生产的激励措施推动的。需求集中在高通量多晶圆系统和强大的服务合同上，以支持汽车资格认证计划。

北美前三大主要国家

• 美国——设备制造商、材料工厂和先进封装工具的中心。
• 加拿大——研究并选择支持功率器件生态系统的制造节点。
• 墨西哥——新兴的组装和利基设备生产支持区域供应链。

欧洲

欧洲（约占 20% 份额）专注于研发驱动的 SiC 产能增长、设备供应商与研究机构之间的合作以及工业和汽车应用的高可靠性设备认证。区域优势包括工艺知识和严格的可靠性测试。

欧洲前三大主要国家

• 德国——领先的碳化硅工具产业基地和装备研发。
• 法国——利基设备制造商和电力电子研发。
• 荷兰——具有先进工艺能力的设备和计量中心。

亚太

由于设备制造商、材料供应链和积极的晶圆厂扩张计划的集中，亚太地区（约占 50% 的份额）占据主导地位。多晶圆间歇式反应器的大量采用集中在该地区，以服务国内和出口市场。

亚太地区前三大主要国家

• 中国——批量设备需求和基板采购工作的主要驱动力。
• 日本——建立了供应商生态系统和先进的外延技术研发。
• 韩国——设备制造商和材料研发投资。

中东和非洲

中东和非洲（约占 5% 份额）是一个规模虽小但不断增长的市场，受到工业化项目和对选定国家先进制造中心的有针对性投资的推动。采用往往是项目主导的和机会主义的。

MEA 前 3 大主要国家

• 阿拉伯联合酋长国——项目主导的采购和工业多元化举措。
• 沙特阿拉伯——战略工业计划和能源部门电气化。
• 南非——精选先进制造项目的区域中心。

主要 SiC CVD 系统市场公司名单分析

投资分析与机会

投资活动的目标是设备 OEM 产能扩张（研磨机、批量反应器组装）、与基板和器件工厂合署办公以及服务/网络投资，以缩短资本工具的平均修复时间。战略投资者正在评估三个价值池：拥有经过验证的多晶圆平台的核心工具原始设备制造商；提供预测性维护和远程监控的售后市场和服务提供商；以及回收/上游衬底合作伙伴关系，确保晶圆供应并降低原料风险。收购利基 CVD 技术公司或研发团队可加速能力提升——CVD 领域最近的并购活动证明了将反应器 IP 与全球服务网络相结合的价值。支持租赁或按晶圆付费模式的项目融资结构可以降低优先考虑本地化生产的地区的设备制造商和晶圆厂的初始资本支出障碍，从而加速工具的采用。

投资者的机会包括支持 200 毫米过渡的供应商升级、为将外延与在线计量捆绑在一起的集成交钥匙设备生产线提供资金，以及为晶圆和不合格外延层的回收能力提供资金。另一个有吸引力的领域是软件和流程分析——SaaS 产品，可聚合跨车队的工具遥测，以改善产量预测并优化试点和生产系统之间的配方传输。鉴于 SiC 在电动汽车和可再生能源基础设施中的战略作用，随着设备采用的加速，缩短经过验证的外延平台的批量生产时间并确保长期基板供应安排的投资可能会产生丰厚的回报。

新产品开发

最近的新产品开发侧重于更高吞吐量的多晶圆批量反应器、改进的晶圆尺寸灵活性（双 150/200 毫米平台）以及增强热均匀性和减少缺陷密度的温壁设计。供应商正在整合增强的气体输送设计、先进的感受器材料和实时工艺监控，以提高掺杂剂均匀性并减少基面位错密度。一些工具系列现在提供模块化盒式装载和集成真空传输，以减少高温加工过程中的循环时间和污染风险。

其他产品进步包括针对 IP 敏感客户的配方保护功能、用于快速工厂集成的交钥匙自动化软件包以及包括预测性备件库存和远程诊断的规模化维护软件包。新产品的发布强调在大批量生产期间降低每片晶圆的成本，通过密封组件架构提高正常运行时间，以及用于工厂良率分析集成的内置数据遥测。这些发展降低了晶圆厂的产能提升风险，并使设备供应商能够为扩大 SiC 器件生产规模的客户提供更强有力的良率承诺。

最新进展（2024-2025）

• 2024 年——随着设备制造商准备批量生产 SiC 设备，据报道，针对 200 毫米外延平台的多个重复订单和生产工具采购。
• 2024 年 – 工具供应商扩大了支持和服务计划，以加速客户良率提升并向新晶圆厂提供远程配方传输帮助。 （供应商公告和投资者演示强调了售后市场的关注度增加。）
• 2025 年 – 启动重大合作项目和研发联盟，以提高碳化硅外延工艺的能源和水效率并减少工艺浪费。
• 2025 年 – OEM 财务和交易更新表明，即使在更广泛的周期变化范围内，对数据通信和电力相关外延工具的持续需求；供应商强调了积压管理和战略客户参与。
• 2025 年 – 继续推出多晶圆生产平台并记录客户对大批量晶圆厂的选择，验证向 200 毫米反应堆和多配置机组的转变。

报告范围

该报告涵盖了全球 SiC CVD 系统市场规模和预测、按类型和应用细分、区域前景和供应商竞争定位。它包括详细的产品技术映射（热壁与温壁、单晶圆与多晶圆批次）、供应商简介以及针对设备 OEM、材料供应商和代工客户的设备供应商的上市策略。该研究分析了 150 毫米和 200 毫米晶圆尺寸的设备采用场景，量化了衬底可用性对升温时间的影响，并对不同反应器架构的资本支出和量产时间权衡进行了建模。

此外，该报告还审查了售后市场收入池（服务、备件和工艺支持），并详细介绍了基材限制、设备交付周期和工艺鉴定持续时间等风险因素。战术建议包括优先考虑模块化多晶圆平台、投资远程诊断和服务能力，以及探索与基板供应商共同投资或长期供应协议，以确保晶圆可用性。附录提供了成功的工具部署案例研究、多晶圆系统的投资回收模型以及最近在 SiC 外延设备领域授予的合同和战略合作伙伴关系的摘要。

主要发现

• 市场规模 - 2025 年价值 3.4 亿美元，预计到 2034 年将达到 7.1 亿美元，复合年增长率为 8.5%。
• 增长动力 - 45% 采用电动汽车、35% 可再生能源电气化、30% 工业电力升级。
• 趋势 - 50% 多晶圆批次偏好、40% 200mm 迁移、30% 自动化程度提高。
• 主要参与者 - AIXTRON、Tokyo Electron、Epiluvac、Veeco 以及其他利基 OEM 厂商
• 区域洞察 - 亚太地区 50%、北美 25%、欧洲 20%、中东和非洲 5%（仅百分比事实；亚太地区引领数量需求和设备采用）。
• 挑战 - 30% 的基材可用性、25% 的设备交货时间、20% 的资格周期、15% 的熟练员工需求。
• 行业影响 - 通过改进外延技术使设备效率提高 35%，通过新反应器将缺陷率降低 30%，使用集成自动化将产量提升速度加快 25%。
• 最新动态 - 重复订购 200 毫米工具和研发计划，以提高 SiC 外延的资源效率。 :contentReference[oaicite:12]{index=12}